弧光等离子体刻蚀系统 （ARC/HF/HCD）

2-4 高离化率磁控射阴极

配置独特的电磁增强PACVD 系统

周期 : 8-15h/炉

装载量  : 活塞环3600-12000/柱塞>2000

一键启动全自动工控系统

涂层种类  :   DLC/WC:H/WC-C或其他超硬涂层

适用范围：

发动机配件，制动元件，冲压模具，纺织零件，医疗器械等。